SURFCOM 1500

测头

驱动部

立柱

测量范围： 1000 um

分辨率：0.1nm/6.4um；10nm/1000um

测量范围：100/200 mm

直线误差(μm): 0.05 + L/1000*

分辨率(μm):：0.016

高度：450mm

* - L = 测量长度以mm为单位