尺寸&精度
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SURFCOM 1700 |
测头 驱动部 立柱 |
测量范围： 50 mm |
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分辨率：0.1 um/5mm；0.4 um/20mm；1um/50mm |
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直线误差(μm): 1 um/100 mm 分辨率(μm):：0.016 高度：450mm |
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工作台 |
600 x 320 mm to 1000 x 450 mm |
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* - L = 测量长度以mm为单位 |
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